روغن مورد استفاده در پمپ وکیوم دیفیوژن دارای ویژگی‌های خاصی است. روغن دیفیوژن می‌تواند هزاران بار تبخیر و میعان شود .میل ترکیبی روغن پمپ دیفیوژن با هوا در دمای بالا بسیار اندک می‌باشد. کنترل و تعویض به موقع روغن در پمپ وکیوم دیفیوژن روی فشار نهایی پمپ دیفیوژن و عملکرد آن تاثیر بسزایی دارد.
لازم به ذکر است مشخصات فنی به صورت Typicalمی باشد و تا حدودی تغییر در محدوده استاندارد برای هر بچ نامبر تولیدی اجتناب ناپذیر است.
